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이온빔 생성 원천기술로 국산 이온현미경 개발 앞당긴다 - 높은 각전류밀도 이온빔을 만들어 낼 수 있는 팁 제작 원천기술 개발 - 한국표준과학연구원(KRISS, 원장 박현민) 첨단측정장비연구소 박인용 책임연구원 연구팀과 소재융합측정연구소 권지환 선임연구원팀이 이온현미경의 성능을 향상할 수 있는 이온빔 생성 기술을 개발했다. 이번 기술은 이온빔 생성 기술 중 가장 선도적인 기술 중 하나로서, 고성능의 국산 이온현미경 개발에 크게 기여할 것으로 기대된다. 이온현미경과 같이 나노미터급의 분해능을 가진 첨단현미경은 소재, 부품, 바이오 등 여러 과학기술에 반드시 필요한 장비이다. 하지만 현미경 산업은 외산 장비의 의존도가 높.......

반도체 수율 핵심인 플라즈마, 실시간으로 진단한다 - 반도체·디스플레이 공정에 사용하는 플라즈마 밀도, 실시간으로 측정 - - 측정 기준기급 센서 세계최초 개발, 국산 장비산업 경쟁력 강화 전망 - 한국표준과학연구원(KRISS, 원장 박현민)이 반도체·디스플레이 공정에 사용되는 플라즈마 양을 실시간으로 측정할 수 있는 센서를 세계최초로 개발했다. 가동 장비를 멈추지 않고도 사용할 수 있기에 반도체·디스플레이 장비 성능평가 및 제품 수율 향상에 도움이 될 것으로 기대된다. 이번 기술은 한국 원천 특허 등록을 기반으로 미국·유럽·중국·일본 등 4개국 특허 출원이 완료됐다. KRISS 연구팀은 기기에 센서가 내장된 ‘지능형 식각공정.......

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여기 세계 최고 수준의 측정표준기술과 연구장비 소프트웨어 개발 교육을 통해 국내 연구장비산업의 역량을 나날이 키워가는 이들이 있습니다. 각자의 자리에서 최선을 다하며 국산 연구 장비산업의 더 나은 내일을 만들어가고 있는 각양각색 4인의 이야기를 만나보시죠. ‘국산연구장비활용랩’의 새로운 보금자리는 한눈에 보기에도 넓고 깨끗했습니다. 약 스무 대 정도의 국산연구장비로 채워진 공간을 분주하게 누비며 장비마다 안내판을 부착하는 송주현 기술원의 손길이 빠르고 정확했습니다. “국산연구장비활용랩은 이름 그대로 국산연구장비에 대한 인식개선과 활용도를 높이기 위해서 운영되는 연구장비 공동활용 실험실이에요. 주로 중.......